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海普超純水樹(shù)脂:水的“凈化衛(wèi)士”

更新時(shí)間:2025-03-07 點(diǎn)擊量:1662

超純水(UPW)是集成電路、液晶面板等電子制造產(chǎn)業(yè)的重要生產(chǎn)原料,是半導(dǎo)體芯片產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵影響因素之一。隨著我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主化的飛速發(fā)展,電子級(jí)超純水水質(zhì)和水量的要求也越來(lái)越高。超純水因的純凈度和穩(wěn)定性,在眾多高科技和精密制造行業(yè)中扮演著重要的角色。

半導(dǎo)體制造業(yè):在芯片制造過(guò)程中,超純水用于清洗、蝕刻、摻雜等關(guān)鍵環(huán)節(jié),任何微小的雜質(zhì)都可能導(dǎo)致半導(dǎo)體性能下降,因此超純水的質(zhì)量直接影響到半導(dǎo)體產(chǎn)品的良率和可靠性。
電力行業(yè):特別是核電站中,超純水用作冷卻劑和化學(xué)試劑,以減少對(duì)設(shè)備的腐蝕并維持核反應(yīng)堆的安全高效運(yùn)行。
生物科技與醫(yī)藥:在生物技術(shù)研發(fā)、藥物生產(chǎn)、組織培養(yǎng)、DNA測(cè)序等領(lǐng)域,超純水作為溶劑或培養(yǎng)基的組成部分,需確保不引入任何可能干擾生物活性或?qū)嶒?yàn)結(jié)果的雜質(zhì)。
光電產(chǎn)業(yè):在液晶顯示器(LCD)、有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)及太陽(yáng)能電池板的制造過(guò)程中,超純水用于清洗、配制電子液體等,確保元件的高性能和長(zhǎng)壽命。
實(shí)驗(yàn)室研究與檢驗(yàn)分析:作為化學(xué)試劑配制、樣品稀釋、儀器清洗的標(biāo)準(zhǔn)用水,超純水保證了實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性。
化妝品及食品工業(yè):在化妝品配方和特定食品加工中,超純水的使用可避免潛在污染物,提升產(chǎn)品純度和安全性。這些應(yīng)用彰顯了超純水在現(xiàn)代高科技產(chǎn)業(yè)中的基石地位,其純度直接影響到相關(guān)產(chǎn)品質(zhì)量和技術(shù)創(chuàng)新。

超純水國(guó)內(nèi)沒(méi)有明確的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn),半導(dǎo)體先進(jìn)制程要求電子級(jí)純水電阻率大于 18.2 MΩ·cm(25 ℃),總有機(jī)碳(TOC)小于 1 μg/L,硼質(zhì)量濃度小于 50 ng/L。目前國(guó)內(nèi)電子半導(dǎo)體行業(yè)用水普遍執(zhí)行電子級(jí)水EW-Ⅰ級(jí)標(biāo)準(zhǔn),或者更嚴(yán)格美國(guó)ASTM D5127-2013(2018)中Type E-1.2/1.3超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。

 

電子級(jí)超純水關(guān)鍵水質(zhì)指標(biāo)對(duì)后續(xù)生產(chǎn)的影響
關(guān)鍵水質(zhì)指標(biāo) 主要影響
電阻率 綜合指標(biāo),表征水的離子污染程度。美國(guó)Intel公司曾做過(guò)對(duì)照實(shí)驗(yàn),由電阻率為16MΩ-cm的純水生產(chǎn)的45/40nm制程產(chǎn)品成品率僅為50%。
TOC 活菌的營(yíng)養(yǎng)源,可使柵氧化膜尤其是薄柵氧化膜的缺陷密度增大。
DO 水中殘留的DO極易在硅片上生成氧化膜,進(jìn)而影響硅上低溫生長(zhǎng)出的柵氧化膜的質(zhì)量和性能。
微粒子 易造成圖形缺陷,當(dāng)構(gòu)成元素有P、Na、K等時(shí),其在熱處理時(shí)內(nèi)擴(kuò)散將形成異常導(dǎo)電區(qū),引起器件電器特性不良。
活菌 細(xì)菌殘骸造成圖形缺陷。
全硅 通常指可溶解性的硅酸根離子。可降低熱生長(zhǎng)的氧化物的可靠性,造成磷硅霧,引起閾值電壓變化;等離子刻蝕時(shí),二氧化硅也會(huì)形成顆粒污染而造成圖形缺陷。
硼元素是p型雜質(zhì),過(guò)量存在會(huì)使n型硅反型,對(duì)電子、空穴濃度有重要影響。
微量離子 特別是堿金屬鹽類(lèi),在擴(kuò)散工序中可能參與擴(kuò)散,從而破壞產(chǎn)品電性能。

在當(dāng)今工業(yè)生產(chǎn)中,超純水的應(yīng)用日益廣泛,其水質(zhì)要求高,幾乎接近理論上的純水。超純水樹(shù)脂作為一種關(guān)鍵的水處理材料,為眾多行業(yè)提供了高品質(zhì)的超純水,保障了生產(chǎn)過(guò)程的順利進(jìn)行。

超純水樹(shù)脂,也稱(chēng)為拋光樹(shù)脂,是一種由陽(yáng)離子交換樹(shù)脂和陰離子交換樹(shù)脂混合而成的高純度離子交換樹(shù)脂。它通常用于超純水處理系統(tǒng)的末端,通過(guò)去除水中的陰陽(yáng)離子,使產(chǎn)水達(dá)到超純水的標(biāo)準(zhǔn)。這種樹(shù)脂出廠時(shí)的離子型態(tài)為H型和OH型,裝填后無(wú)需再生,可直接使用。

超純水樹(shù)脂的工作原理基于離子交換技術(shù)。在超純水制備過(guò)程中,水先經(jīng)過(guò)預(yù)處理、反滲透等步驟進(jìn)行初步凈化。當(dāng)水流經(jīng)過(guò)拋光混床時(shí),陽(yáng)離子交換樹(shù)脂會(huì)吸附水中的陽(yáng)離子(如鈣、鎂、鈉、鉀等),而陰離子交換樹(shù)脂則吸附陰離子(如氯離子、硫酸根離子等),從而實(shí)現(xiàn)對(duì)水中陰陽(yáng)離子的深度去除,進(jìn)一步提升水的純度。

海普超純水樹(shù)脂:

高純度:超純水樹(shù)脂能夠有效去除水中的微量離子,使產(chǎn)水電阻率達(dá)到18兆歐以上。
穩(wěn)定性好:具有良好的化學(xué)和物理穩(wěn)定性,熱穩(wěn)定性高,強(qiáng)度大,交換容量大。

超純水樹(shù)脂作為工業(yè)用水的“凈化衛(wèi)士”,在眾多行業(yè)中發(fā)揮著不可替代的作用。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步和市場(chǎng)需求的增長(zhǎng),超純水樹(shù)脂的應(yīng)用前景將更加廣闊。

 

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